제품소개

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RF GROUND STRAP

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RF GROUND STRAP

품명/재질

  • 품명 : RF GROUND STRAP
  • 공정 : CVD
  • 재질 : AL + 이온주입 열처리 합금

기능 및 장점

  • CVD SUSCEPTOR 최적화
  • 왕복 운동 내구성 10만회 TEST PASS
  • 380℃ 이상의 고온 환경이나 진공 chamber내 대응할 수 있음