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RF GROUND STRAP

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RF GROUND STRAP

产品名/材质

  • 产品名 : RF GROUND STRAP
  • 工程 : CVD
  • 材质 : AL + 注入离子后经热处理的合金

功能及优点

  • 最适合用于CVD的SUSCEPTOR
  • 通过了10万回往返运动的耐久性测试
  • 可对应真空chamber内或380℃以上环境